在電子半導(dǎo)體高端制造流程中，晶圓清洗是提升晶圓良率的關(guān)鍵工序，而清洗槽液位的精準(zhǔn)檢測(cè)與把控，更是維系這一工序穩(wěn)定性的核心環(huán)節(jié)。液位的細(xì)微偏差，不僅會(huì)直接影響清洗效果，更可能造成晶圓損壞，進(jìn)而影響整條產(chǎn)線的生產(chǎn)效率與產(chǎn)品品質(zhì)。

堡盟(Baumer)深耕工業(yè)傳感領(lǐng)域多年，精準(zhǔn)把握電子半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)際應(yīng)用需求，量身打造 UR18 系列超聲波傳感器解決方案，完美適配晶圓上下料設(shè)備的清洗槽液位檢測(cè)場(chǎng)景，以專業(yè)傳感技術(shù)破解行業(yè)檢測(cè)難題，成為該應(yīng)用場(chǎng)景的優(yōu)選方案。

行業(yè)檢測(cè)痛點(diǎn)突出

傳統(tǒng)方案難達(dá)要求

當(dāng)前電子半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓清洗槽液位檢測(cè)環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)檢測(cè)方案仍存在諸多難以規(guī)避的痛點(diǎn)，成為制約生產(chǎn)的關(guān)鍵問(wèn)題。

 ● 其一，檢測(cè)易受環(huán)境干擾，清洗過(guò)程中產(chǎn)生的液體氣泡、液面波動(dòng)，極易導(dǎo)致傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備精度不足，出現(xiàn)液位誤判，直接影響清洗工藝穩(wěn)定性；

 ● 其二，設(shè)備適配性差，不同產(chǎn)線、不同工藝的晶圓清洗槽規(guī)格多樣，傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備無(wú)靈活調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)，需頻繁更換型號(hào)，不僅增加設(shè)備采購(gòu)成本，更降低產(chǎn)線運(yùn)維效率；

 ● 其三，性價(jià)比失衡，部分能滿足精度要求的檢測(cè)產(chǎn)品價(jià)格居高不下，而平價(jià)產(chǎn)品又難以達(dá)到工業(yè)級(jí)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，行業(yè)客戶難以兼顧性能需求與成本控制。

UR18 系列三大優(yōu)勢(shì)

直擊核心檢測(cè)需求

專為電子半導(dǎo)體行業(yè)晶圓上下料設(shè)備設(shè)計(jì)的堡盟 UR18系列超聲波傳感器，憑借三大核心優(yōu)勢(shì)，精準(zhǔn)解決行業(yè)痛點(diǎn)，成為電子半導(dǎo)體客戶的優(yōu)選。

01、遠(yuǎn)距檢測(cè)且精度出眾，采用非接觸式超聲波檢測(cè)原理，完全擺脫清洗液氣泡、液面波動(dòng)的干擾，既能滿足清洗槽的安裝空間要求實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離檢測(cè)，又能精準(zhǔn)捕捉液位細(xì)微變化，為清洗工藝筑牢穩(wěn)定防線。

02、可變聲錐設(shè)計(jì)靈活適配，可根據(jù)不同清洗槽大小自由調(diào)節(jié)聲束角，一臺(tái)設(shè)備即可適配多種規(guī)格清洗槽，無(wú)需頻繁換型，大幅提升設(shè)備適配性與產(chǎn)線效率。

03、高性價(jià)比兼顧品質(zhì)與成本，傳感器采用堅(jiān)固結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可耐受電子半導(dǎo)體車間的嚴(yán)苛生產(chǎn)環(huán)境，降低設(shè)備故障率與后期運(yùn)維成本，讓客戶以更優(yōu)成本獲得瑞士品質(zhì)的專業(yè)傳感體驗(yàn)。

多產(chǎn)品組合拳

覆蓋晶圓加工關(guān)鍵工序

堡盟為電子半導(dǎo)體行業(yè)的賦能，并非局限于晶圓清洗槽液位檢測(cè)單一應(yīng)用場(chǎng)景，更依托豐富的產(chǎn)品矩陣，打造一站式傳感解決方案，形成產(chǎn)品組合拳全面覆蓋晶圓加工關(guān)鍵工序。其中：

 ● IFFM 08 可實(shí)現(xiàn)晶圓加工過(guò)程中的精準(zhǔn)定位檢測(cè)，為晶圓上下料、傳輸?shù)拳h(huán)節(jié)提供可靠的位置反饋；

 ● OM20/30 則精準(zhǔn)適配晶圓高度檢測(cè)需求，以高精度測(cè)量保障各工序的位置控制。

從液位檢測(cè)到定位、高度檢測(cè)，堡盟多系列產(chǎn)品協(xié)同發(fā)力，助力行業(yè)客戶充分挖掘生產(chǎn)潛力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線效率全方位升級(jí)。

全球技術(shù) + 本土落地

賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

作為全球領(lǐng)先的工業(yè)傳感專家，堡盟始終秉持 “全球技術(shù) + 本土落地” 的核心理念，深耕中國(guó)市場(chǎng)，精準(zhǔn)把握電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心區(qū)域的客戶需求。

針對(duì)晶圓加工的各類檢測(cè)需求，堡盟從產(chǎn)品精準(zhǔn)選型到應(yīng)用方案定制化設(shè)計(jì)，專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)全程跟進(jìn)，為行業(yè)客戶提供全周期技術(shù)支持，確保產(chǎn)品性能在實(shí)際應(yīng)用中最大化發(fā)揮。

未來(lái)，堡盟將持續(xù)聚焦電子半導(dǎo)體等高端制造領(lǐng)域的技術(shù)需求，以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)、以品質(zhì)為基石，不斷研發(fā)升級(jí)傳感技術(shù)、豐富產(chǎn)品矩陣，打造更多貼合行業(yè)實(shí)際的解決方案，憑借深耕行業(yè)的經(jīng)驗(yàn)與專業(yè)的技術(shù)服務(wù)，持續(xù)賦能中國(guó)電子半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，以感知之力，成為高端制造領(lǐng)域的可靠傳感伙伴。

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堡盟集團(tuán)

堡盟集團(tuán)是國(guó)際領(lǐng)先的工廠自動(dòng)化和過(guò)程自動(dòng)化生產(chǎn)廠家之一。目前堡盟集團(tuán)的足跡已遍布全球19個(gè)國(guó)家并擁有40家分公司。堡盟集團(tuán)的產(chǎn)品業(yè)務(wù)主要涉及傳感器、運(yùn)動(dòng)控制、視覺(jué)技術(shù)、過(guò)程儀表和粘膠系統(tǒng)，其豐富的產(chǎn)品線覆蓋在各個(gè)行業(yè)并使客戶受益于堡盟所提供的完整咨詢和可靠服務(wù)的國(guó)際平臺(tái)。更多信息，請(qǐng)登陸  www.baumer.com。