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應(yīng)用設(shè)計(jì)

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歐姆龍成功事例 | 劃片機(jī)的NCS非接觸測高檢測方案

歐姆龍成功事例 | 劃片機(jī)的NCS非接觸測高檢測方案

應(yīng)用介紹

【行業(yè)】半導(dǎo)體

【設(shè)備】刀輪劃片機(jī)

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應(yīng)用場景

NCS非接觸測高檢測

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解決課題

1、在晶圓或基板切割過程中,隨著刀輪持續(xù)使用會出現(xiàn)磨損,導(dǎo)致切割精度下降。為保持切割質(zhì)量穩(wěn)定,需不斷監(jiān)測刀片磨損狀態(tài),并根據(jù)磨損量動態(tài)補(bǔ)償進(jìn)給量。

2、在刀片高速旋轉(zhuǎn)的切割作業(yè)中,檢測系統(tǒng)需確保磨損量測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠,避免因測量失準(zhǔn)導(dǎo)致的切割深度偏差或材料損傷。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品:智能光纖放大器 E3NX-FA

■E3NX-FA通過寬光帶光纖實(shí)時(shí)采集刀片工作狀態(tài)的光信號,將其轉(zhuǎn)換為電壓信號輸出以檢測刀片的磨損量,為刀具補(bǔ)償提供即時(shí)數(shù)據(jù)支持。

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■模擬量輸出型放大器配備多種檢測模式,配合NCS使用,實(shí)現(xiàn)檢測參數(shù)遠(yuǎn)程配置與實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)反饋,顯著提升系統(tǒng)響應(yīng)速度與抗干擾能力,滿足復(fù)雜產(chǎn)線環(huán)境下的高精度檢測要求。

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相關(guān)產(chǎn)品

智能光纖放大器E3NX-FA

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光纖單元E32系列

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審核編輯(
王靜
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