歐姆龍成功事例 | 半導體生產中的foup到位檢查應用

應用介紹

【行業】半導體

【設備】AMHS

應用場景

場景1.EFEM中的cassette落座

場景2.OHB中的cassette落座

場景3.stocker中的foup落座

解決課題

1、不同種類的FOUP盒會因材質、顏色、重復使用導致的老化等各種因素影響檢測，難以實現統一的穩定性評估標準。

2、open cassette質量較輕，難以正確下壓驅動銷，導致漏檢的情況產生。

3、因生產要求，需要在機械手上直接安裝傳感器。但機械手上的空間有限，傳感器難以安裝。

價值提案

核心產品：按鈕型光電傳感器 EE-SA701/801

■與半導體FOUP盒規格相契合，不受材質、顏色、反射率、重量等各種影響，準確檢測FOUP盒的落座情況。

■以光學方式檢測驅動器的動作，對下壓力的要求較低，即使是質量較輕的open cassette也可以進行穩定檢測。同時， EE-SA701/801的機械壽命達500萬次以上，實現超長使用。

■EE-SA701/801采用薄型設計，備有柔韌性佳的耐曲折導線型，可實現搬運臂上的嵌入式安裝搭載。

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按鈕型光電傳感器EE-SA701 / 801

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