?近30年來，ABB以高靈敏度氣體分析儀的解決方案服務(wù)著全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造企業(yè)

?ABB的解決方案能夠精準(zhǔn)控制濕法工藝，并監(jiān)測(cè)潔凈室中的痕量級(jí)氣態(tài)污染物

?氣體實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)有助于降低晶圓損壞風(fēng)險(xiǎn)，保障晶圓良率

近30年來，ABB以高靈敏度氣體分析儀的解決方案持續(xù)為全球半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)提供先進(jìn)技術(shù)支持。ABB較早地采用傅立葉變換近紅外光譜過程分析儀服務(wù)半導(dǎo)體濕法工藝控制，幫助半導(dǎo)體設(shè)備制造商優(yōu)化浴槽使用壽命，將污染風(fēng)險(xiǎn)降至最低。近年來，ABB進(jìn)一步擴(kuò)展半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品組合，推出基于離軸積分腔輸出光譜（OA-ICOS）技術(shù)的分析儀解決方案，以滿足行業(yè)另一關(guān)鍵需求：監(jiān)測(cè)潔凈室中的痕量級(jí)氣態(tài)污染物，保障操作人員安全，防止代價(jià)高昂的晶圓報(bào)廢。

ABB測(cè)量與分析業(yè)務(wù)單元半導(dǎo)體行業(yè)全球產(chǎn)品經(jīng)理張乃正表示：“過去10年間，我們?cè)谥袊㈨n國、日本等地已安裝數(shù)百套設(shè)備，為眾多領(lǐng)先芯片制造商提供支持。半導(dǎo)體制造既需要對(duì)痕量級(jí)AMC進(jìn)行監(jiān)測(cè)，也需要對(duì)濕法工藝進(jìn)行精確控制，以提高生產(chǎn)良率、降低晶圓損壞風(fēng)險(xiǎn)。正因如此，ABB的高靈敏度技術(shù)至關(guān)重要。”

基于OA-ICOS技術(shù)的GLA231系列解決方案，能夠?qū)崟r(shí)精準(zhǔn)測(cè)量氟化氫、氯化氫和氨氣。這三種關(guān)鍵的高純度化學(xué)氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的蝕刻、清洗和沉積工藝。與傳統(tǒng)光譜技術(shù)相比，OA-ICOS技術(shù)具有諸多優(yōu)勢(shì)，包括堅(jiān)固耐用可靠、測(cè)量時(shí)間更短以及易于現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)等。

 （ABB 半導(dǎo)體潔凈室氣體監(jiān)測(cè)解決方案系列）

多年來，ABB的氣體分析儀為多家全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體巨頭提供了有力的技術(shù)支撐，助力其監(jiān)測(cè)潔凈室氣體監(jiān)測(cè)，檢測(cè)出濃度極低的化學(xué)物質(zhì)。

ABB同時(shí)為該地區(qū)眾多半導(dǎo)體設(shè)備商提供濕法工藝監(jiān)測(cè)分析儀，包括經(jīng)廣泛應(yīng)用驗(yàn)證的FTPA2000-SC系列、TALYS ASP300系列和TALYS ADP300系列。其中，TALYS ASP300系列采用寬譜紅外光譜技術(shù)，代表了ABB面向半導(dǎo)體行業(yè)的全新一代過程分析儀。該分析儀非常適用于濕法蝕刻、清洗及光刻膠去除浴槽的實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，能夠連續(xù)監(jiān)測(cè)化學(xué)品濃度。一旦檢測(cè)到濃度異常變化，系統(tǒng)會(huì)立即觸發(fā)報(bào)警，以便及時(shí)采取糾正措施。

（ABB 半導(dǎo)體濕法工藝監(jiān)測(cè)解決方案系列）

這種實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)能力有助于降低晶圓損壞風(fēng)險(xiǎn)，并保障穩(wěn)定如一的生產(chǎn)質(zhì)量。高精度的測(cè)量結(jié)果使設(shè)備操作人員和工程師能夠延長(zhǎng)化學(xué)浴槽的使用壽命，減少總體化學(xué)品消耗，同時(shí)最大限度減少異常事件的發(fā)生。

此外，TALYS ADP300系列提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、高性能的雙通道濕法浴槽監(jiān)測(cè)分析。該雙通道分析系統(tǒng)在關(guān)鍵性能上實(shí)現(xiàn)提升，可同時(shí)進(jìn)行兩路測(cè)量。

ABB致力于以電氣和自動(dòng)化技術(shù)，致力于賦能更可持續(xù)與高效發(fā)展的未來。通過融合工程經(jīng)驗(yàn)與數(shù)字化技術(shù)，ABB幫助各行業(yè)高效運(yùn)營，提升能源效率與生產(chǎn)效率，促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展，成就卓越，工誠臻遠(yuǎn)。ABB擁有140余年歷史，全球員工約11萬名。ABB在瑞士證券交易所（SIX Swiss Exchange: ABBN）和納斯達(dá)克斯德哥爾摩證券交易所（Nasdaq Stockholm: ABB）上市。

www.abb.com

ABB的自動(dòng)化業(yè)務(wù)為工業(yè)運(yùn)營提供自動(dòng)化、電氣化和數(shù)字化解決方案，滿足用戶從能源、水和材料供應(yīng)到產(chǎn)品制造與運(yùn)輸?shù)膹V泛需求。ABB自動(dòng)化事業(yè)部全球約2.6萬名員工，憑借先進(jìn)的技術(shù)和專業(yè)的服務(wù)，幫助流程行業(yè)、混合行業(yè)以及海事行業(yè)用戶實(shí)現(xiàn)更精益、更清潔的運(yùn)營，成就卓越典范。