LS電氣閃耀2026中國自動化+數字化產業年會

以全棧方案錨定新質未來

2026年3月20日，南京香格里拉大酒店，中國工控自動化行業的目光聚焦于“2026中國自動化+數字化產業年會”。在這個以“反內卷”重塑信心、以“新質生產力”錨定未來的關鍵節點，LS電氣以“執行者”之姿強勢亮相，不僅帶來深耕半導體全棧式解決方案的硬核思考，更在萬眾矚目的頒獎盛典中，將運動控制與傳動產品“新質獎”收入囊中。

解碼半導體“全鏈路自研”創新實踐

在工業AI賦能制造業轉型論壇，LS電氣自動化事業部陳鎖Team長發表了題為 《“芯”動之擎：特殊馬達高精協同與流體精準控制在半導體設備中的創新實踐》 的主題演講，引發全場共鳴。

面對半導體設備對精度、潔凈度與可靠性的極致苛求，LS電氣展示的絕非單一產品，而是一套 “動力+流體”協同控制的系統級答案。演講中，通過中國本土頭部半導體設備的實際應用案例，生動詮釋了何為“全鏈路自研”。

案例一：刻蝕設備的“核心驅動”

刻蝕設備廠商面臨一項嚴峻挑戰：其12寸晶圓刻蝕機臺需要在極高真空環境下，實現電機8000rpm穩定運轉且微米級軸端跳動控制，同時要抵御腐蝕性氣體的長期侵蝕。

LS電氣的Spinner電機給出了深度定制化解決方案：專為涂膠、顯影、清洗、刻蝕等關鍵工藝設計，其中空軸結構保證真空吸附的順暢，磁流體密封技術筑起防腐蝕的可靠屏障，專用驅動器則確保瞬時啟停的精準響應。如今，這款特殊電機已成為該廠商新一代機臺的“標配心臟”，運行壽命和穩定性遠超預期，助力國產半導體設備性能對標國際一流水平。

案例二：濕法工藝的“精準調控”

CMP設備廠，如何精準控制研磨液（Slurry）的流量，同時防止顆粒物堵塞管路，一直是困擾行業的難題。傳統流量計要么精度不足，要么耐磨性差，難以滿足12寸晶圓廠的嚴苛要求。

LS電氣提供的UFM系列超聲波流量計定制化解決方案：憑借其非接觸式測量的天然優勢，完美避開了與腐蝕性、高磨蝕性液體的直接接觸。更重要的是，通過集成定壓閥與電動閥的結構，將復雜的流量計組成整合為單一LFC產品，協助客戶打通了從流量計到上層控制系統的數據鏈路，實現了研磨液用量的閉環精準控制。這一方案不僅大幅提升了CMP工藝的穩定性，更幫助其終端客戶—國內某頭部12寸晶圓廠，實現了單機臺每年數十萬元的化學品成本節約，以“小切口”撬動了“大效益”。

LS電氣的半導體設備解決方案已廣泛應用于冷水機、氣體凈化裝置、真空泵及氣體柜等核心輔助設備，為工藝穩定性與高純氣體供應提供了有力支撐。 從AMHS天車系統（OHT）的運動控制，到Utility設備的變頻驅動，再到核心工藝機臺的專用電機與流量監控，每一環都具備自主定義和深度優化的能力。這正是LS電氣敢于說 “為半導體設備提供深度定制化方案” 的底氣所在。

Spinner電機斬獲“新質獎”

LS電氣自主研發的Spinner電機，在眾多參評產品中脫穎而出，榮膺運動控制與傳動產品 “新質獎” ！根據大會主辦方介紹，該獎項旨在評選真正代表新質生產力，即具備高技術效能、高可靠性及產業創新價值的標桿產品。LS電氣的Spinner電機獲獎，是實至名歸。

填補短板

專為半導體涂膠、顯影、清洗、刻蝕等工藝設計，解決了高速運轉下中空軸真空吸附與耐腐蝕防護的復合難題。

卓越性能

正如獎項提名所述，其在效率、功率密度、動態響應上的突破，在防腐蝕、真空吸附及高速運行等嚴苛工況下表現穩定，完美契合了新能源、半導體等精密制造場景的嚴苛需求。

市場驗證

從清洗、刻蝕到CMP，Spinner電機已在中國本土半導體設備頭部企業中得到廣泛應用與驗證，成為國產設備升級迭代的可靠伙伴。

這份榮譽，是行業對LS電氣在精密傳動領域技術積淀的又一次認證，也標志著LS電氣在中國市場的“本土化創新”邁入了價值深耕的新階段。

以“紅馬”之姿奔赴VISION 2030

2026年是丙午紅馬年，也是LS電氣“VISION 2030”戰略執行的元年。站在這一新起點，面對中國制造業“存量深耕+增量卡位”的新格局，LS電氣正依托無錫、大連兩大生產基地，將半導體、船舶海事、AI數據中心等領域的成熟經驗“水平展開”，以“深度定制+核心自研”的差異化優勢，深度賦能中國本土產業鏈。此刻我們收獲榮譽，未來我們策馬奔騰。感謝中國工控網與行業伙伴的認可，也感謝每一位關注LS電氣的朋友。2026年，以“執行”之姿，奔赴2030。在破曉的新生中，共同見證中國智造的躍遷！